Influência das condições de deposição no comportamento de filmes finos de TiN (2016)
Silva, Felipe Carneiro da 
; Schön, Cláudio Geraldo ; Souza, Roberto Martins de ; Campos, Vinicius D. G.; Sagás, Julio Cesar
Source: Anais Cbecimat. Conference titles: Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência dos Materiais. Unidade: EP
Subjects: FILMES FINOS, TITÂNIO
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ABNT
SILVA, Felipe Carneiro da et al. Influência das condições de deposição no comportamento de filmes finos de TiN. 2016, Anais.. São Paulo: Associação Brasileira de Cerâmica, 2016. Disponível em: https://repositorio.usp.br/directbitstream/6450ded8-ccf2-48ae-8402-0d5e44c5ba2a/Souza_RM-2016-Influ%C3%AAncia%20das%20condi%C3%A7%C3%B5es%20de%20deposi%C3%A7%C3%A3o%20no%20comportamento%20de%20filmes%20finos%20de%20TIN.pdf. Acesso em: 10 maio 2024.APA
Silva, F. C. da, Schön, C. G., Souza, R. M. de, Campos, V. D. G., & Sagás, J. C. (2016). Influência das condições de deposição no comportamento de filmes finos de TiN. In Anais Cbecimat. São Paulo: Associação Brasileira de Cerâmica. Recuperado de https://repositorio.usp.br/directbitstream/6450ded8-ccf2-48ae-8402-0d5e44c5ba2a/Souza_RM-2016-Influ%C3%AAncia%20das%20condi%C3%A7%C3%B5es%20de%20deposi%C3%A7%C3%A3o%20no%20comportamento%20de%20filmes%20finos%20de%20TIN.pdfNLM
Silva FC da, Schön CG, Souza RM de, Campos VDG, Sagás JC. Influência das condições de deposição no comportamento de filmes finos de TiN [Internet]. Anais Cbecimat. 2016 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/6450ded8-ccf2-48ae-8402-0d5e44c5ba2a/Souza_RM-2016-Influ%C3%AAncia%20das%20condi%C3%A7%C3%B5es%20de%20deposi%C3%A7%C3%A3o%20no%20comportamento%20de%20filmes%20finos%20de%20TIN.pdfVancouver
Silva FC da, Schön CG, Souza RM de, Campos VDG, Sagás JC. Influência das condições de deposição no comportamento de filmes finos de TiN [Internet]. Anais Cbecimat. 2016 ;[citado 2024 maio 10 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/6450ded8-ccf2-48ae-8402-0d5e44c5ba2a/Souza_RM-2016-Influ%C3%AAncia%20das%20condi%C3%A7%C3%B5es%20de%20deposi%C3%A7%C3%A3o%20no%20comportamento%20de%20filmes%20finos%20de%20TIN.pdf
